罩式退火爐空氣管道的正確修理方法
罩式退火爐的爐子空氣管道如果按原設備批改,僅用一般批改技術即可。單對一般爐子空氣管道不可重視,構成爐子工作不正常、不經濟。常常發生有如下幾種情況:
?。?)、漏氣不及時修理。一般認為空氣不會含有污染周圍環境的問題,所以閥門存在內漏與外漏的情況較多。甚至在漏損量影響爐子正常燃燒時,往往把加大鼓風機作為主要辦法而不予修理。
?。?)、往往不考慮鼓風機特性和要求,不合理使用鼓風機,構成燃燒不正常貨浪費動能。
?。?)、對空氣管道制造安裝要求不嚴。往往為了施工便利構成管路阻力丟失大、風量缺乏等弊病。
現舉某廠一重油燃料爐為例。配用8—18型6號風機一臺,電動機功率為17kW.轉數為2900r/min,按風機功能出力,全風壓應為8.43kPa,風量為3440m?/h-3SOOm?/h。在使用中,爐子油嘴燃燒冒黑煙,爐溫上不去,爐子風量顯著缺乏。經實測風量只要1600m?/h.僅為額外的43%,在風機的進風門處有出風現象。
通過分析,雖然鼓風機選用適宜,問題是管道的設計不合理。由于這種鼓風機出口尺度都較小,風速很大,不能用與風機出口同樣巨細的尺度去配風管,而要逐漸擴口,使整條管路的風速控制在lOm/s-15m/s。在分叉,拐彎處不使用直角彎形,要用圓弧彎,以減少部分阻力丟失。
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包含加熱多個半導體晶片以影響其電功能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使細密堆積的薄膜,改變成長的薄膜的狀況,批改注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。
退火爐可以集成到其他爐子處理過程中,例如氧化,或許可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式工作爐,超節能結構,選用纖維結構,節電60%。我公司供應的燃氣退火爐也是極好的,歡迎前來選購。